您好！歡迎訪問上海虹約科技有限公司網(wǎng)站！
全國服務(wù)咨詢熱線:
18201763797
18201763797
簡要描述：PEVCD管式爐系統(tǒng)為中型滑動(dòng)開啟式設(shè)備，適配 1200?1700℃工藝。集成等離子射頻電源、三路混氣系統(tǒng)與真空組件，爐體可滑動(dòng)實(shí)現(xiàn)快速升降溫。可調(diào)控薄膜應(yīng)力與化學(xué)計(jì)量比，沉積 SiOx、SiNx 等材料，廣泛用于薄膜材料研發(fā)實(shí)驗(yàn)，性能穩(wěn)定、集成度高
更新時(shí)間：2026-05-21瀏覽次數(shù)：110產(chǎn)品地址：上海市青浦區(qū)華新鎮(zhèn)嘉松中路518號A205產(chǎn)品分類：管式爐產(chǎn)品分類
Product Category相關(guān)文章
Related Articles詳細(xì)介紹
| 品牌 | JZ/精釗 | 價(jià)格區(qū)間 | 5萬-10萬 |
|---|---|---|---|
| 儀器種類 | 管式爐 | 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子/電池 |
PEVCD 系統(tǒng)爐是面向薄膜材料制備的中型滑動(dòng)開啟式專用設(shè)備，擁有 1200℃、1500℃、1700℃多溫區(qū)規(guī)格，整套設(shè)備集成等離子射頻電源、三路質(zhì)量流量混氣系統(tǒng)、開啟式管式爐及真空機(jī)組，可一站式完成氣相沉積實(shí)驗(yàn)。設(shè)備爐體可左右滑動(dòng)，搭配射頻電源同步位移，實(shí)現(xiàn)快速升降溫；300W 射頻電源可產(chǎn)生等離子增強(qiáng)效應(yīng)，降低實(shí)驗(yàn)溫度，通過頻率精準(zhǔn)調(diào)控薄膜應(yīng)力，工藝參數(shù)可調(diào)，可沉積 SiOx、SiNx、a?Si:H 等多種功能薄膜。溫控系統(tǒng)采用 50 段智能可編程 PID 控制，控溫精度 ±1℃；真空系統(tǒng)搭配雙旋片式機(jī)械泵，真空度可達(dá) 10?2torr；三路高精度混氣系統(tǒng)精準(zhǔn)配比反應(yīng)氣體。整機(jī)符合 CE、ISO9001 標(biāo)準(zhǔn)，核心部件品質(zhì)可靠，是半導(dǎo)體、新能源、新材料領(lǐng)域薄膜制備的核心實(shí)驗(yàn)設(shè)備。
產(chǎn)品咨詢
地址：上海市青浦區(qū)華新鎮(zhèn)嘉松中路518號A205
郵箱：3561608134@qq.com
傳真：86-021-33868778
電話
微信掃一掃
當(dāng)前位置：